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真空泵的运行与维护防止返油的措施：在泵入口管路上设置放气阀，使入口压力维持在10Pa以上，这样可以减少返流的98%。对于单级泵，在泵运转时打开气镇阀就能很好的防止返流。在泵的入口设置吸附阱，依靠吸附剂吸返流蒸汽。

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